地下管道檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質譜儀，是只檢測氦的質譜儀，這種質譜儀將其它質量數的氣體都屏蔽掉了。
地下管道檢漏儀為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦氣反應的工作狀態)的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
地下管道檢漏儀校準步驟
1、將檢漏儀的吸槍頭部抵觸校準漏孔，若在1～3秒內發生報警，則說明檢漏儀正常，其有關設定正確；
2、在1～3秒內無反應，首先應調整其靈敏度微調旋鈕或提高靈敏度選擇檔位，再將吸槍頭部抵觸校準漏孔，若在1～3秒內發生報警，則說明正常，否則，判定為不完好，應予以檢修。
地下管道檢漏儀進展的集中體現在如下幾個方面：
(1)便攜式：不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。
(2)高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。
(3)自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
(4)全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。
(5)檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。
地下管道檢漏儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外選擇無毒、無破壞性、質量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。目前，檢漏技術在以下領域中得到了廣泛的應用：科學研究、航空航天、汽車制冷、軍事工業、分析儀器、發電廠、核工業、壓力容器、精密機械加工、醫療儀器/儀表、真空爐、鍍膜設備等裝置或系統、高真空和超高真空的工程、半導體等行業，將為您提供更快速，更經濟，更的檢漏方案。
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